http://stdj.scienceandtechnology.com.vn/index.php/stdj <p><span id="result_box" class="" lang="en"><span title="Tạp chí Phát triển Khoa học và Công nghệ (PTKH&amp;CN) của Đại học Quốc gia thành phố Hồ Chí Minh (ĐHQG-HCM) được thành lập từ năm 1997, ra số đầu tiên vào tháng 1 năm 1998. Từ năm 2006 Tạp chí đã"><strong>Science and Technology Development Journal</strong> (STDJ), Vietnam National University - Ho Chi Minh City (VNU-HCM) was established in 1997. And the first issue was published in January 1998 with </span><span title="đăng ký mã số chuẩn quốc tế ISSN 1859-0128.">ISSN 1859-0128. </span><span title="Từ đó cho đến nay, Tạp chí PTKH&amp;CN đã trở thành diễn đàn khoa học quan trọng nhất của đội ngũ cán bộ nghiên cứu, giảng viên, nghiên cứu sinh của ĐHQG-HCM và cũng là diễn đàn khoa học công nghệ đáng tin cậy của">Since then, STDJ has become the most important scientific forum of scientists from VNU-HCM as well as</span><span title="nhiều nhà nghiên cứu, giảng viên các trường đại học khác tại Việt Nam."> other universities. </span><span title="Tạp chí đã trải qua 20 năm phát triển và đã trở thành nhịp cầu giao lưu khoa học, cũng như làm phong phú tài liệu tham khảo cho đội ngũ giảng viên, nghiên cứu sinh, sinh viên ĐHQG-HCM nói riêng và các Trường đại">The magazine has undergone 20 years of development and has become a bridge for scientific exchanges, as well as enriching reference materials for the faculty, doctoral students, students of VNU-HCM in particular and other universities, institutes... </span></span></p> <p><span id="result_box" class="" lang="en"><span title="học phía Nam nói chung. "><br></span><span title="Tính đến hết năm 2016 Tạp chí đã xuất bản được 276 số với 2714 bài nghiên cứu của các nhà khoa học, cán bộ trong và ngoài ĐHQG-HCM trong 5 lĩnh vực nghiên cứu: Kỹ thuật và Công nghệ, Khoa học Tự nhiên,">By the end of 2016, the journal has published 276 issues with 2714 research articles in five areas of research: Engineering and Technology, Natural Sciences, </span><span title="Khoa học Xã hội và Nhân văn, Kinh tế luật và Khoa học Quản lý, Khoa học Trái đất và Môi trường tương ứng với 5 chuyên san chuyên ngành của Tạp chí.">Social Sciences and Humanities, Economics of Law and Management Sciences, Earth Sciences and Environment corresponding to 5 specialized journals of the Journal. </span></span></p> <p><span id="result_box" class="" lang="en"><span title="Tạp chí đã được phát hành tại các thư viện của các đơn vị thành viên của ĐHQG-HCM, các Sở Khoa học Công nghệ của các tỉnh thành trên cả nước và được Hội đồng học hàm Giáo sư Nhà nước đánh giá cao.">The magazine has been widely indexed in the various libraries at Vietnam. </span></span></p> <p><span id="result_box" class="" lang="en"><span title="Từ tháng 12/2006 Tạp chí đã nhận được sự giúp đỡ của tổ chức mạng quốc tế về các xuất bản phẩm khoa học thuộc Hội đồng khoa học quốc tế để tham gia vào mạng lưới các Tạp chí Khoa học quốc tế. "><br></span><span title="Hiện nay tạp chí bao gồm 5 chuyên san sau đây: ">The journal currently consists of the following five sections:<br></span><span title="• Kỹ thuật và Công nghệ, ">• Engineering and Technology</span></span></p> <p><span id="result_box" class="" lang="en"><span title="• Khoa học Tự nhiên, ">• Natural Sciences</span></span></p> <p><span id="result_box" class="" lang="en"><span title="• Khoa học Xã hội và Nhân văn, ">• Social Sciences and Humanities</span></span></p> <p><span id="result_box" class="" lang="en"><span title="• Kinh tế luật và Khoa học Quản lý, ">• Economics, Law and Management</span></span></p> <p><span id="result_box" class="" lang="en"><span title="• Khoa học Trái đất và Môi trường">• Sciences of Earth and Environment</span></span></p> <p><span class="" lang="en"><span title="• Khoa học Trái đất và Môi trường"><span id="result_box" class="" lang="en">• Health Sciences : It includes work from basic science, clinical science, dental, nursing and other related medical fields. <br></span></span></span></p> Viet Nam National University Ho Chi Minh City en-US VNUHCM Journal of Science and Technology Development 1859-0128 <p>Copyright The Author(s) 2023. This article is published with open access by Vietnam National University, Ho Chi Minh city, Vietnam. This article is distributed under the terms of the&nbsp;<a href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" target="_blank" rel="noopener">Creative Commons Attribution License (CC-BY 4.0)</a> which permits any use, distribution, and reproduction in any medium, provided the original author(s) and the source are credited.&nbsp;</p> http://stdj.scienceandtechnology.com.vn/index.php/stdj/article/view/4398 <p>The detailed kinetic mechanism between isobutene and SiH₃ radicals was investigated theoretically using the composite electronic structure method CBS-QB3 in conjugated with the Rice-Ramsperger-Kassel-Marcus-based master equation (RRKM-ME) rate modeling. The study reveals that the title reaction proceeds through two primary pathways: (<em>i</em>) addition of SiH₃to the double bond and (<em>ii</em>) H-abstraction by SiH₃, leading to various products. The addition pathway forms two primary products, <strong>P3</strong> and <strong>P4</strong>. The H-abstraction pathway results in two product channels, <strong>P1</strong> + SiH₄ and <strong>P2</strong> + SiH₄. Among these, the adduct <strong>P3</strong> is identified as the most thermodynamically and kinetically favorable intermediate at <em>T</em> &lt; 900 K. However, at <em>T</em> &gt; 900 K, <strong>P1</strong> and <strong>P4</strong> gain prominence. The calculated geometrical parameters, thermodynamic properties, and kinetic data align with existing/related literature for selected species. These findings provide further mechanistic insights as well as reliable information for detailed kinetic modeling of silicon chemical vapor deposition (CVD) processes, which are of significant technological importance.</p> Lam Kim Huynh Uyen Tran Loc T. Nguyen Khoi M. Le Tam Mai ##submission.copyrightStatement## http://creativecommons.org/licenses/by/4.0 2025-05-14 2025-05-14 28 2 10.32508/stdj.v28i2.4398 title description none g